截面形状
测量目标物的截面形状。扫描方式除了用“点”进行测量的1D激光位移计外,还可提供用“线”一次性捕捉形状的产品,以及用“面”捕捉形状并抽取截面形状的3D激光位移计。方式因测量条件及目标物而异,注意点也有所差异,如有疑问,请咨询就近的办事处。
将层叠前的电极切割位置反馈到装置。通过正确捕捉电极端部的形状,可高精度地检测边缘位置。通过正确捕捉涂布材料端部的形状,可高精度地检测边缘位置。
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列
测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具,即可简单测量。另外,通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄,实现以往*难以达到的高精度形状测量。
*与本公司LJ-G5000系列产品的比较
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列







